د پاسات تیلو عام ریل فشار سینسر 06E906051K لپاره د تطبیق وړ

1. د فشار سینسر جوړولو لپاره یوه طریقه چې پکې شامل دي:

د سیمیکمډکټر سبسټریټ چمتو کول ، په کوم کې چې د سیمیکمډکټر سبسټریټ کې لومړی انټر لیر ډایالټریک پرت ، لومړی انټر لیر ډایالټریک پرت او دوهم انټر لیر ډایالټریک پرت رامینځته کیږي.

په لومړي انټر لیر ډایالټریک پرت کې یو ټیټ الیکټروډ پلیټ ، لومړی متقابل الیکټروډ په ورته طبقه کې د ښکته الیکټروډ پلیټ په څیر موقعیت لري او جلا جلا.

د نښلولو پرتونه؛

د ټیټ قطبي پلیټ څخه پورته د قربانۍ پرت ​​جوړول؛

د پورتنۍ الیکټروډ پلیټ په لومړي انټر لیر ډایالټریک طبقه کې ، د یو بل د نښلولو لومړۍ طبقه او د قربانۍ پرت؛

د قربانۍ پرت ​​له جوړیدو وروسته او د پورتنۍ تختې د جوړولو څخه مخکې، په لومړي متقابل پرت کې

د پیوستون نالی جوړول، او د پورتنۍ پلیټ سره د پیوستون نالی ډکول ترڅو په بریښنایی ډول د لومړي متقابل پرت سره وصل شي؛یا،

د پورتنۍ الیکټروډ پلیټ له جوړولو وروسته ، د پورتنۍ الیکټروډ پلیټ او لومړی یو له بل سره نښلولو پرت کې نښلونکي نالی رامینځته کیږي.

د کنډکټیو پرت رامینځته کول چې د پورتنۍ الیکټروډ پلیټ سره نښلوي او د ارتباط په نالی کې لومړی یو له بل سره نښلول؛

د بریښنایی پلوه د پورتنۍ پلیټ او لومړی یو له مینځه وړلو پرت سره وصل کیدو وروسته ، د قربانۍ پرت ​​لرې کول ترڅو غار رامینځته کړي.

2. د ادعا 1 سره سم د فشار سینسر جوړولو طریقه، په کوم کې چې په لومړي پرت کې

د انټر لیر ډایالټریک پرت کې د قربانۍ پرت ​​جوړولو میتود لاندې مرحلې لري:

په لومړي انټر لیر ډایالټریک پرت کې د قربانۍ موادو پرت جمع کول؛

د قربانۍ موادو پرت نمونه کول ترڅو د قربانۍ پرت ​​جوړ شي.

3. د ادعا 2 سره سم د فشار سینسر جوړولو طریقه، په کوم کې چې فوتو لیتوګرافي او نقاشي کارول کیږي.

د قربانۍ د موادو طبقه د نقاشۍ د پروسې په واسطه جوړه شوې ده.

4. د ادعا 3 سره سم د فشار سینسر جوړولو طریقه، په کوم کې چې د قربانی پرت

مواد بې کاره کاربن یا جرمینیم دی.

5. د ادعا 4 سره سم د فشار سینسر جوړولو طریقه، په کوم کې چې د قربانی پرت

مواد بې کاره کاربن دی؛

د ایچنګ ګازونه چې د قربانۍ موادو پرت د نقاشۍ په پروسه کې کارول کیږي عبارت دي له O2، CO، N2 او Ar؛

د قربانۍ موادو پرت د اینچ کولو په پروسه کې پیرامیټرونه دا دي: د O2 د جریان حد 18 SCCM ~ 22 SCCM دی، او د CO د جریان کچه 10٪ ده.

د جريان کچه له 90 SCCM څخه تر 110 SCCM پورې، د N2 د جريان کچه له 90 SCCM څخه تر 110 SCCM پورې، او د ار د جريان کچه.

حد یې 90 SCCM ~ 110 SCCM دی، د فشار حد 90 mtor ~ 110 mtor دی، او د تعصب ځواک دی

540w - 660w.